在多晶硅提純中對硼、磷、雜質(zhì)的去除和重金屬指標(biāo)的改善具有貢獻性應(yīng)用；對多晶硅上游硅料生產(chǎn)起到穩(wěn)定質(zhì)量、提高產(chǎn)量的作用